綁定支持(Bonding)
一些金屬、化合物、合金靶材(例如ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結靶材、錫、銦等軟金屬靶)容易在使用運輸中發生碎裂,靶材綁定在背板上,可有效解決靶材碎裂的問題。Goodwill可以提供靶材綁定服務,綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來,主要有三種方式:銦焊接、釬焊、和導電膠。一般背靶常用金屬銅、鉬、鈦、不銹鋼,厚度一般在1-8mm左右。
靶材背靶脫落的原因:1.濺射溫度高,無氧銅易被氧化和發生翹曲,靶材在高溫濺射時會開裂,造成背靶脫落; 2.電流太大,導熱太快造成溫度過高,焊料熔化,造成焊料不均勻,脫落;3.循環冷卻水出水口的溫度應低于35度,循環水溫度高,造成散熱不好而脫落;4.綁定的氣含量;5.靶材本身的致密度,靶材的致密度很高時,不易吸附,無空隙,背靶易脫落。Goodwill已有效的解決了以上問題,綁定成功率大大提高,提供優質綁定服務。